A Micromachined Capacitive Pressure Sensor Using a Cavity-Less Structure with Bulk-Metal/Elastomer Layers and Its Wireless Telemetry Application
Notice bibliographique
Résumé
This paper reports a micromachined capacitive pressure sensor intended for applications that require mechanical robustness. The device is constructed with two micromachined metal plates and an intermediate polymer layer that is soft enough to deform in a target pressure range. The plates are formed of micromachined stainless steel fabricated by batch-compatible micro-electro-discharge machining. A polyurethane roomtemperature- vulcanizing liquid rubber of 38-μm thickness is used as the deformable material. This structure eliminates both the vacuum cavity and the associated lead transfer challenges common to micromachined capacitive pressure sensors. For frequency-based interrogation of the capacitance, passive inductor-capacitor tanks are fabricated by combining the capacitive sensor with an inductive coil. The coil has 40 turns of a 127-μmdiameter copper wire. Wireless sensing is demonstrated in liquid by monitoring the variation in the resonant frequency of the tank via an external coil that is magnetically coupled with the tank. The sensitivity at room temperature is measured to be 23-33 ppm/KPa over a dynamic range of 340 KPa, which is shown to match a theoretical estimation. Temperature dependence of the tank is experimentally evaluated.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».