Single component photoacid/photobase generators: potential applications in double patterning photolithography
Notice bibliographique
Résumé
193 nm light as an excitation source for resist patterning is limited due to the inability to achieve pitch division much below limits of λ/2. Current techniques are examining the use of a variety of photochemical manipulations as a means to extend lithographic patterning to small, more defined images. Double patterning, or dual tone lithography, has recently garnered considerable interest due to the potential of patterning two features within one excitation exposure. In this contribution, single component carbamate photoacid/photobase (PAG/PBG) generators are studied as potential substrates for implementing dual tone lithography. At lower exposure powers, only the acid is generated and complete film dissolution was observed, while at higher 193 nm laser powers, photobase activation resulted in little to no film dissolution. Ideally, at intermediate laser doses, both the photoacid and photobase are activated giving rise to the desired double patterning. The energy required to initiate dual tone characteristics was found to be easily adjusted using the additional of amine quenchers or via manipulation of the PAG/PBG concentration. Film thickness measurements were used to determine the energies required for both photoacid and photobase activation, while laser flash photolysis and NMR spectroscopy studies were used in an attempt to understand the PAG/PBG activation mechanism.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».