Bimetallic thermal activated films for microfabrication, photomasks, and data storage
Notice bibliographique
Résumé
Bimetallic thermal resist Bi/In has shown many applications in the areas of microfabrication, photomasks and data storage. Optical modeling shows that this class of thermal resist is wavelength invariant, and Bi/In can perform even better at 13.4 nm than at 248 nm due to the increase of absorption and the reduction of reflection. Images were successfully made on Bi/In films with both proximity and projection exposures with Nd:YAG laser running at 2nd harmonic wavelength. A new kind of developing solution used at room temperature was found to be more effective in descumming than nitric acetic acid solution. Both have the etching selectively of unexposed area to exposed areas > 60:1. Developed Bi/In resists shows good conductivity, which can be used as both a metal plating masking and seeding layer, 2 to 10 micrometers wide CU and Ni lines and squares were successfully plated on the developed Bi/In patterns on glass slides and silicon wafers. Shelf test shows that the properties of Bi/In film do not change after being kept in a humid temperature-lifted environment for 10 days. Large optical transmission changes indicate Bi/In can be used for direct-write photomasks and data storage media. Heat- treatment enhances the OD exposed/unexposed OD change.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».