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Enregistrement W2159071878 · doi:10.1109/essderc.2002.194930

Accurate Modelling of Thin-Film Resistor up to 40 GHz

2002· article· en· W2159071878 sur OpenAlexaff
Z. Wang, M. Jamal Deen, A. Rahal

Notice bibliographique

Revuenon disponible
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
Thématique3D IC and TSV technologies
Établissements canadiensNanowave Technologies (Canada)McMaster University
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésResistorCapacitanceResistive touchscreenMaterials scienceMicrostripElectrical engineeringOptoelectronicsCapacitorElectronic engineeringVoltageEngineeringPhysicsElectrode

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

We present an accurate scalable model for thin-film resistor from DC up to 40GHz. The model is based on the microstrip theory, and an empirical self-capacitance parameter is introduced. The simulated S-parameters of the model show very good agreement with the measurements. Thin-film resistors (TFRs) are used in microwave circuits to implement components such as passive attenuators and terminal loads. To date, TFR model considers the parasitic series inductance and shunt capacitance to remain the same from the lossless microstrip case [1]. However, this model does not provide good results when the width of resistor is much smaller than substrate thickness. In this work, the self-capacitance is taken into account to make the model more accurate. The self-capacitance of planar resistor was first introduced by Demurie [2]. If a voltage is applied at the terminals of a resistor, a potential value will across two arbitrary points A and B in the resistor. Therefore, a parasitic capacitance exists between A and B. In MIC technology, a thin-film resistor is realized as a thin strip of lossy conductor on top of the dielectric substrate. The resistive layer is a self-passivating Tantalum Nitride (TaN) compound. The sheet resistivity of the process can be adjusted by controlling the thickness of the resistive layer. In most processes, a sheet resistivity of 50Ω per square is selected for the convenience it provides designers. A small area of conductor metal is deposited at the ends of the element as the contact to the resistors. The exposed resistive area defines the resistance of the structure. The fabrication design rules generally require that resistors are narrower than the width of the conductor contact by some minimum distance because of process alignment tolerances and the need to have a good contact with conductor layer at the end of resistor.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Comment cette classification a été obtenuedéplier

Prédiction machine sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,001
Version: metacan-v3-hybrid-931329e0061cStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Simulation ou modélisation · Signal consensuel: Simulation ou modélisation
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: aucune
Score de désaccord entre enseignants0,004
Score d'incertitude au seuil0,014

Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,001
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0010,001
Méta-épidémiologie (sens large)0,0010,001
Bibliométrie0,0010,001
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0010,002
Science ouverte0,0020,000
Intégrité de la recherche0,0020,001
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0040,002

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,051
Tête enseignante GPT0,212
Écart entre enseignants0,161 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

Classification

machine, non validée

Prédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.

Les modèles n’ont appliqué aucune catégorie : rien dans la taxonomie ne correspondait à ce travail.
Devis d'étudeSimulation ou modélisation
Domainenon disponible
GenreEmpirique

Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».

En bref

Citations10
Publié2002
Routes d'admission1
Résumé présentoui

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