ECR CVD of silicon oxynitride films for antireflection coating of 10 Gbit/s, 1.56 μm multi-quantum well InP/InGaAsP Mach-Zehnder modulators
Notice bibliographique
Résumé
This paper describes the development of electron cyclotron resonance (ECR) plasma-deposited SiO/sub x/N/sub y/ single layer anti-reflecting (AR) optical coatings for III-V 10 Gbit/s, 1.56 /spl mu/m Mach-Zehnder (MZ) modulators. To minimize the effect of reflections from the cleaved facets, MZ modulators require low reflectivity (1% for TE and TM polarizations) facet coatings, which remain stable over operating life (25 years). Several reports in the literature have addressed the problem of achieving a low reflectance facet coating by monitoring; the reflectance of, for example, one laser at a time. However, for production quantities, the uniformity, stability, run-to-run reproducibility and device performance across several bars held in a coating fixture must be optimized. This places constraints on the deposition method and fixturing. E-beam evaporated coatings tend to produce films which have poor stability (i.e. drift in reflectance); deposition at high substrate temperatures reduces this effect but can also result in incongruent loss of the group V element and give rise to absorption and/or scattering at the facet. In this paper we report of the fabrication and characterization of SiO/sub x/N/sub y/ films deposited by ECR CVD which provides low ion energy (/spl sim/<25 eV) bombardment, low plasma damage and low deposition temperature to produce high quality, stable AR facet coatings.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».