Fabrication of Piezoresistive Sensors in Standard MEMS Foundry Processes
Notice bibliographique
Résumé
A technique for fabrication of piezoresistive sensors in standard MEMS processes is introduced. A pair of beams from different structural layers are designed such that when one beam is under tension, the other one is under compression. By properly routing an electrical current through the structure, it is possible to measure the change in the resistance of beams as a result of applied stress. The proposed method does not require electrical isolation of piezoresistors from structural layers, and as confirmed by experiments, can be practically used for small deflections. Sample structures were fabricated in the MUMPs process and were employed to prove the validity of the design principle. Using the Maxwell-Mohr method, an analytical model is developed for the proposed structure and is verified by finite element simulations. Using modeling and experimental results, the piezoresistive coefficient of the top polysilicon layer in MUMPs process was calculated to be $11.5times10 <sup xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink">-11</sup> nPa <sup xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink">-1</sup> . Having the proper structure, its model, and the piezoresistive coefficient of the material, it is now possible to design and optimize a wide variety of piezoresistive sensors, such as accelerometers and magnetic field sensors, in low-cost standard MEMS processes
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».