Application of a Plasma Arc Lamp for Thermal Processing of Semiconductor Wafers
Notice bibliographique
Résumé
This paper describes the application of a vortex water wall high-pressure argon lamp for a semiconductor annealing process. These lamps have been designed to operate up to a 500-kW power level, have a continuous spectrum, similar to daylight, and have been used to characterize solar cells. Precise control of the radiated power generated by the lamps is required, which, in turn, requires an accurate electrothermooptical dynamic model of the lamp and an optothermal model of the wafer. This paper discusses general aspects regarding the modeling of the system consisted of the lamp and the wafer. The main contributions of the paper are the following: (1) a simplified means of relating the radiation exiting the lamp to the electrical power injected into the lamp, taking into account radiation from an isothermal core and absorption in the cold swirling argon gas, the water wall, and the quartz envelope; and (2) a model to describe energy exchange between the lamp and the wafer and experimental results to indicate the good agreement between the model and the actual apparatus. Two companion papers discuss the details of the arc model and the discrete-time control algorithms developed to model the wafer subsystem and the arc subsystem.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».