Photoluminescence from Er-doped Si-rich Si oxides deposited by magnetron sputtering in Ar or Ar+H2 plasmas
Notice bibliographique
Résumé
The authors have studied photoluminescence (PL) from Er-doped Si-rich Si oxide (SRSO) films deposited by magnetron sputtering of an Er+Si+SiO2 composite target in Ar or Ar+H2 ambients. When the samples were annealed in N2, for the film grown in an Ar ambient, the PL annealing behaviors reveal that the emissions from the film are defect-related and that the Er3+ PL at 1.54μm is possibly triggered by a defect-mediated energy transfer process; while for the films grown in an Ar+H2 ambient, the emissions from the SRSO matrix are suppressed and the Er PL intensities increase significantly but differently dependent on the Ar:H2 ratios during sputtering. After annealing the samples in an Ar+5%H2 (FG) ambient, however, almost no Er PL was observed from the film grown in the Ar ambient, while the Er PL intensities of the films grown in the Ar+H2 ambient increase further compared to those annealed in N2. Fourier transform infrared spectroscopy shows that the absorption of the samples after FG annealing is weaker than after annealing in N2. The PL properties have also been compared to those of a sample grown by plasma enhanced chemical vapor deposition. The roles of hydrogen during sputtering and postdeposition annealing are discussed.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,003 |
| Études des sciences et des technologies | 0,001 | 0,002 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,002 | 0,001 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».