EVOLUTION OF MICROSTRUCTURE IN TI-TA BILAYER THIN FILMS ON POLYCRYSTALLINE-SI AND SI(001)
Notice bibliographique
Résumé
Abstract We have studied the formation of titanium silicides in the presence of an ultra-thin layer of Ta, interposed between Ti and Si, using in situ X-ray diffraction (XRD), resistance measurements, elastic light scattering and exsitu transmission electron microscopy. On both poly-Si and Si(001) substrates the Ta thickness was varied from 0 to 1.5 nm while the Ti thickness was held constant at ∼27 nm. The time-resolved XRD shows that the volume fraction of the C40 and metal-rich silicide phases grows with increasing Ta layer thickness. Among the Ta thicknesses we examined, 0.3 nm is the most effective in lowering the C49–C54 transformation temperature. Ex situ texture analysis shows that the C54 disilicide film is predominantly (010) textured for the Ti/0.3 nm Ta sample on both poly-Si and Si(001). The final C54 texture is significantly different for Ta layers thinner or thicker than the optimal 0.3 nm. This suggests that the most effective thickness for lowering the C54 formation temperature could be related to the development of a strong (010) texture.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».