Optically Transparent Flexible IGZO TFTs Fabricated with a Selective Wet-Etch Process
Notice bibliographique
Résumé
Given the relatively poor selectivity to common semiconductor etchants, IGZO (InGaZnO) thin film transistors (TFTs) are typically fabricated using lift-off processes to define the electrical contacts. However, the success of the emerging transition-metal oxide materials system for flexible electronics requires compatibility with conventional TFT fabrication processes. In this research, flexible IGZO TFTs having 85% optical transparency in the visible regime were fabricated on polyethylene napthalate (PEN) substrates using a selective wet etching process to eliminate the need for lift-off processing. The devices were processed directly onto the plastic platform at the maximum temperature of 150°C. The fabricated TFTs exhibited a field-effect mobility of ~12.5 cm 2 /V.sec, threshold voltage of ~5.0 V, and an I on /I off ratio of <10 6 . No current crowding behavior was observed for the TFTs at the low drain-source voltage (V D ) regime. The highly selective etching process provides a means to fabricate IGZO based circuits with low processing complexity that will enable system-on-“plastic” integration of flexible transparent flexible displays.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».