A generic “micro-Stoney” method for the measurement of internal stress and elastic modulus of ultrathin films
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
Accurate measurement of the mechanical properties of ultra-thin films with thicknesses typically below 100 nm is a challenging issue with an interest in many fields involving coating technologies, microelectronics, and MEMS. A bilayer curvature based method is developed for the simultaneous determination of the elastic mismatch strain and Young's modulus of ultra-thin films. The idea is to deposit the film or coating on very thin cantilevers in order to amplify the curvature compared to a traditional "Stoney" wafer curvature test, hence the terminology "micro-Stoney." The data reduction is based on the comparison of the curvatures obtained for different supporting layer thicknesses. The elastic mismatch strain and Young's modulus are obtained from curvature measurements of cantilevers before and after the film deposition. The data reduction scheme relies on both analytical and finite element calculations, depending on the magnitude of the curvature. The experimental validation has been performed on ultra-thin low pressure chemical vapor deposited silicon nitride films with thickness ranging between 54 and 133 nm deposited on silicon cantilevers. The technique is sensitive to the cantilever geometry, in particular, to the thickness ratio and width/thickness ratio. Therefore, the precision in the determination of the latter quantities determines the accuracy on the extracted elastic mismatch strain and elastic modulus. The method can be potentially applied to films as thin as a few nanometers.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle