Frequency response of curved bilayer microcantilevers with applications to surface stress measurement
Notice bibliographique
Résumé
Bilayer microcantilevers are normally curved because of fabrication-induced stresses. When used in biological/chemical sensing applications, the absorption of target agents onto the functionalized surface of the microcantilever creates a surface stress that shifts its resonance frequency. Despite numerous efforts, the mechanisms of surface stress-induced shift in the resonance frequency of microcantilevers remain elusive. To address this problem, this work presents a detailed analysis of the frequency response of microcantilevers, with different width-to-thickness ratios and curvature levels, using classical lamination theory and the Rayleigh–Ritz method. Based on the results of this analysis, a new relationship between resonance frequency shift and curvature variation due to differential surface stress loading is established. By comparing the strain energies associated with the in-plane and out-of-plane displacements of the microcantilever at different curvature levels, a new implicit model for surface stress-induced resonance frequency shift in microcantilevers is presented. Verified against the results of experiments carried out on gold/polysilicon microcantilevers, the new model is expected to provide a better understanding of surface stress-microcantilever resonator interaction, which is critical to systematic optimization of resonance-based micro sensors.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».