Bimetallic Thermal Resists for Photomask, Micromachining and Microfabrication
Notice bibliographique
Résumé
Photoresists and photomasks are two of the most critical materials in microfabrication and micromachining industries.As the shift towards shorter wavelength exposure continues, conventional organic photoresists and chromelquartz photomasks start to encounter problems.This thesis investigates and presents an alternative to organic photoresists and chromium photomasks which overcomes their intrinsic problems.A bimetallic thin film, such as BilIn and SnIIn, creates an inorganic thermal resist with many interesting properties.Both experiments and simulations demonstrate that this class of thermal resists can be converted by laser exposure with wavelengths from 213 nm to 830 nm, showing wavelength invariance.Simulations of the projected wavelength response show that BiIIn thermal resist works down to the 1 nm X-ray range.Exposed bimetallic thermal resists can be developed in two different acid solutions with excellent selectivity.A standard etch (RCA2) can strip the unexposed bimetallic film when photoresist rework is needed.Exposed bimetallic films are resistant to Si anisotropic wet etching and fluorine, O2 and chlorine plasma etching.The Bi/In thermal resist is the first reported resist that works for both wet chemical anisotropic Si etching and dry plasma etching.All these features make the bimetallic film a complete thermal resist.Another very important property of bimetallic thin films is the largest change in the optical absorption ever reported in the literature (3.0 OD before exposure and 0.22 OD after exposure, 365 nm), with the exposed areas becoming nearly transparent.The transmission of the exposed films depends on the laser writing power.Thus, BilIn resist and its class can be utilized as a direct-write photomask material for both binary and grayscale photomasks.Binary photomasks and grayscale photomasks were successfully created.2D and 3D structures were successfully generated in Shipley organic photoresists using a mercury lamp mask aligner with exposure conditions identical to those for conventional chrome masks.Material analyses show that the transformation after laser exposure of bimetallic thermal resists is an oxidation process.Laser-converted BilIn and S n h oxides have a structure similar to that of indium tin oxide films.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,004 | 0,002 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».