Surface pattern transfer in<mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" display="inline"><mml:mrow><mml:mi mathvariant="normal">GaAs</mml:mi></mml:mrow></mml:math>with molecular beams of<mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" display="inline"><mml:mrow><mml:msub><mml:mrow><mml:mi mathvariant="normal">Cl</mml:mi></mml:mrow><mml:mn>2</mml:mn></mml:msub></mml:mrow></mml:math>
Notice bibliographique
Résumé
The time evolution of surface gratings on $\mathrm{GaAs}(001)$ during maskless thermal ${\mathrm{Cl}}_{2}$ etching is investigated using atomic force microscopy and real-time measurements of diffracted light intensity. The decay of the grating depends strongly on its orientation with respect to the crystal axes. The pattern transfer can be altered significantly by using a directional molecular beam of ${\mathrm{Cl}}_{2}$ instead of exposure to a nondirectional low-pressure gas phase. In particular, if the molecular beam is incident on the sample from an off-normal direction, the grating shape develops a strong asymmetry. A numerical model consisting of two coupled partial differential equations for the surface height and the concentration of chlorine on the surface is in good quantitative agreement with the observed shape evolution. The model includes the effects of the crystal anisotropy of the etch rate, spatial inhomogeneity of the ${\mathrm{Cl}}_{2}$ flux to the surface, and surface diffusion of the chlorine. Fits of the model to the surface shapes allow us to determine the diffusion length of chlorine on $\mathrm{GaAs}(001)$ to be on the order of $50\phantom{\rule{0.3em}{0ex}}\mathrm{nm}$ at 200 \ifmmode^\circ\else\textdegree\fi{}C.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,002 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,002 | 0,003 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,004 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,002 |
| Études des sciences et des technologies | 0,002 | 0,002 |
| Communication savante | 0,002 | 0,003 |
| Science ouverte | 0,004 | 0,002 |
| Intégrité de la recherche | 0,002 | 0,003 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,132 | 0,003 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; les deux têtes enseignantes s’accordent sur ce qui est montré ici.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».