Atomic Layer Deposited IrO2-TiO2 Thin Film Resistor for the Thermal Inkjet Printheads
Notice bibliographique
Résumé
IrO2-TiO2 thin films were prepared by atomic layer deposition using Ir(EtCp)(COD) and titanium isopropoxide (TTIP). The intermixing ratios between IrO2 and TiO2 in the IrO2-TiO2 thin films were controlled from (IrO2)0.33-(TiO2)0.67 to (IrO2)0.78-(TiO2)0.22. With the IrO2 intermixing ratio less than 0.55, both TCR values and resistivities were abruptly changed. The temperature coefficient of resistance (TCR) for IrO2-TiO2 thin films was controlled from -420 to -75.35 ppm/K by changing the IrO2 intermixing ratios from 0.55 to 0.78, while the resistivities was also controlled from 1500 to 356.7 μΩ•cm. Moreover, the change in the resistivity of IrO2-TiO2 thin films was below 10% even after O2 annealing process at 600{degree sign}C.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,005 | 0,002 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».