Study of Chemical Structure and Removal of Positive-Tone Novolak Resist Having Various Prebake Temperature using Wet Ozone
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
プリベーク（PB）温度の異なるノボラック系ポジ型レジスト（ノボラック樹脂+溶解抑制剤（PAC））の湿潤オゾンによる除去特性について，FT-IRおよびマイクロサンプリング質量分析法（μ-MS）による化学構造の変化，熱重量測定（Thermo Gravimetry Analyzer; TGA）による残存溶媒量の変化など種々の構造解析を行い評価した．PB温度を100–200˚Cまで変化させたレジスト膜は，湿潤オゾンによってすべて除去された．ただし，PB温度100–140˚Cではレジスト除去速度は変化せず，PB温度160˚C以上ではPB温度が高くなるほどレジスト除去速度が低下した．FT-IRスペクトルより，ノボラック系ポジ型レジストは160˚C近傍でPACからN2が脱離するが，ノボラック樹脂については変化がみられなかった．μ-MSの結果では，PB温度によってノボラック樹脂およびPACの分解温度や化学構造は変化しなかった．TGA測定により，レジスト膜中の残存溶媒はPB温度140˚Cと160˚Cとの間でほぼ完全に蒸発した．以上のことからPB温度を変えてもレジスト膜の化学構造の変化や熱架橋は起こらず，PB温度が160˚C以上になることで膜中の残存溶媒がほぼ完全に蒸発し，レジスト膜が収縮し硬化する．このため，PB温度160˚C以上で，レジスト除去速度が大きく減少した．
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle