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Enregistrement W2333335717 · doi:10.1021/jp1073208

Oxidation and Etching of CVD Diamond by Thermal and Hyperthermal Atomic Oxygen

2010· article· en· W2333335717 sur OpenAlex
Z. Shpilman, I. Gouzman, Eitan Grossman, Linhan Shen, Timothy K. Minton, Jeffrey T. Paci, George C. Schatz, R. Akhvlediani, A. Hoffman

Pourquoi ce travail est dans la base

Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.

affAu moins un auteur déclare une institution canadienne dans l'instantané OpenAlex épinglé.

Notice bibliographique

RevueThe Journal of Physical Chemistry C · 2010
Typearticle
Langueen
DomaineMaterials Science
ThématiqueDiamond and Carbon-based Materials Research
Établissements canadiensUniversity of Victoria
Organismes subventionnairesDivision of Chemistry
Mots-clésDiamondChemistryEtching (microfabrication)Thermal desorptionChemical vapor depositionOxygenAdsorptionChemical physicsCarbon fibersThermal oxidationElectron energy loss spectroscopyHydrogenThermalDesorptionAnalytical Chemistry (journal)NanotechnologyChemical engineeringLayer (electronics)Materials sciencePhysical chemistryTransmission electron microscopyComposite material

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

The chemical bonding and morphology of chemical vapor deposited (CVD) diamond films exposed to thermal (∼0.04 eV) and hyperthermal (5 and 7.5 eV) atomic oxygen (AO) were studied by using high resolution electron energy loss spectroscopy (HREELS), atomic force microscopy, and theoretical simulations. Although exposure to thermal AO caused subtle changes to the surface morphology, hyperthermal AO resulted in selective etching of the diamond facets: (100) facets remained essentially unaffected, whereas (111)-oriented and other facets were severely etched. HREELS reveals that hydrogen is removed from the diamond surfaces during both thermal and hyperthermal AO exposures. By using isotopic labeling in the CVD growth procedure, it is observed that exposure to ambient conditions after the AO exposure leads to adsorption of adventitious hydrocarbons on the surface. The high background in the HREEL spectrum of samples exposed to hyperthermal AO suggests the presence of a graphitic layer. Simulations of the interaction between hyperthermal AO and (100) and (111) diamond surfaces were conducted by using direct dynamics based on density-functional-based tight binding methods, in an attempt to elucidate relevant reaction mechanisms. They suggest mechanisms for the partial graphitization of the (111) surface and for etching of this surface by way of CO 2 desorption. Such damaged graphitic layers have been previously shown to erode easily when exposed to a hyperthermal AO beam. The simulations also suggest that the (100) surface, fully covered with ketones, is inert to carbon removal upon exposure to hyperthermal oxygen atoms, which scatter inelastically from this surface without reaction. The simulations suggest that a nearly full ketone coverage is the steady-state configuration for a (100) diamond surface exposed to AO.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,001
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,001
Score d'incertitude au seuil0,205

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0010,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,005
Tête enseignante GPT0,232
Écart entre enseignants0,227 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle