Toward the Controlled Synthesis of Hexagonal Boron Nitride Films
Pourquoi ce travail est-il dans la base ?
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Aucune affiliation canadienne. Une base fondée sur la seule affiliation (le devis habituel) n'aurait jamais vu ce travail. C'est l'un des travaux qui justifient l'inversion de la base.
Scores machine (provisoires)
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
- Écart entre enseignants
- 0,250 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
- Statut de validation
score_only:v0-immature-baseline· tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle
Résumé
Atomically smooth hexagonal boron nitride (h-BN) layers have very useful properties and thus potential applications for protective coatings, deep ultraviolet (DUV) emitters, and as a dielectric for nanoelectronics devices. In this paper, we report on the growth of h-BN by a low-pressure chemical vapor deposition (LPCVD) process using diborane and ammonia as the gas precursors. The use of LPCVD allows synthesis of h-BN with a controlled number of layers defined by the growth conditions, temperature, time, and gas partial pressure. Furthermore, few-layer h-BN was also grown by a sequential growth method, and insights into the growth mechanism are described, thus forming the basis of future growth of h-BN by atomic layer epitaxy.
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La notice
- Revue
- ACS Nano
- Thématique
- Graphene research and applications
- Domaine
- Materials Science
- Établissements canadiens
- —
- Organismes subventionnaires
- McMaster University
- Mots-clés
- DiboraneChemical vapor depositionMaterials scienceBoron nitrideNanotechnologyBoronLayer (electronics)NanoelectronicsEpitaxyDielectricChemical engineeringOptoelectronicsChemistryOrganic chemistry
- Résumé présent dans OpenAlex
- oui