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Enregistrement W2335069319 · doi:10.1109/jmems.2016.2515058

Fabrication of Lead-Free Piezoelectric (K, Na)NbO<sub>3</sub>Thin Film on Nickel-Based Electrodes

2016· article· en· W2335069319 sur OpenAlex

Pourquoi ce travail est dans la base

Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.

affAu moins un auteur déclare une institution canadienne dans l'instantané OpenAlex épinglé.

Notice bibliographique

RevueJournal of Microelectromechanical Systems · 2016
Typearticle
Langueen
DomaineMaterials Science
ThématiqueFerroelectric and Piezoelectric Materials
Établissements canadiensUniversity of Toronto
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésNickelElectrodeMaterials scienceThin filmAnalytical Chemistry (journal)DielectricOptoelectronicsNanotechnologyChemistryMetallurgyPhysical chemistryOrganic chemistry

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

It is desirable to replace noble metals used as electrode materials for piezoelectric thin film with base metals. A nickel-based layer is proposed as a bottom electrode for potassium (K) sodium (Na) niobate (NbO <sub xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink">3</sub> ) (KNN) piezoelectric thin film. Pure nickel is used as a bottom electrode under the KNN layer, and nickel silicide is used as an uncovered bottom electrode to gain access to the electrode placed under the KNN. The obtained results do not indicate the oxidation of the nickel-based bottom electrode after the deposition of KNN at 600 °C for 10 h in the presence of oxygen and/or after annealing the sample at 400 °C for an hour in air. The dielectric constant was determined to be 280 at 1 kHz. The remnant polarization was estimated to be 12.5 μC/cm <sup xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink">2</sup> . The effective piezoelectric coefficient d <sub xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink">33</sub> was estimated to be 37 pm/V at 100 kV/cm. The effective coefficient d <sub xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink">31</sub> was evaluated by measuring the tip deflection of KNN unimorph cantilevers to be 17.2 pm/V. The relatively lower values of the piezoelectric properties of the fabricated KNN/Ni/Ti/SiO <sub xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink">2</sub> /Si can be attributed to the crystal orientation of the KNN layer, which was preferentially oriented in the (110) direction.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,003
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,002
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesMéta-épidémiologie (sens strict)
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,107
Score d'incertitude au seuil1,000

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0030,002
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0010,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0020,001
Bibliométrie0,0010,001
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0020,000
Intégrité de la recherche0,0000,001
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,013
Tête enseignante GPT0,223
Écart entre enseignants0,210 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle