Calibration of a Circular HV Magnetron Sputtering Source for in-Situ RE Doping of Ecr-PECVD Si-Based Thin Films
Notice bibliographique
Résumé
Rare-Earth doped silicon based luminescent materials have become an attractive solution in some key areas of technological development. For instance, in the field of silicon photonics there is a drive to replace electronic on-chip components with photonic counterparts [1-2]. One of the major challenges thus far has been to provide the monolithic integration of an efficient reliable electrically driven light source. Such an element could also be used for solid state lighting, and avoid expensive III-V compounds that cannot be fully integrated into electronic drivers in a CMOS line [3]. In-situ doping of Eu3+ions in silicon oxides and oxynitrides fabricated by electron-cyclotron-resonance plasma enhanced chemical vapour deposition (ECR-PECVD) is performed. Doping is achieved by using a Circular High Vacuum Magnetron sputtering source attached to the ECR-PECVD tool. The doping concentration is varied by varying the distance of the sputtering source to the target. The hot matrix composition is varied through varying oxygen and nitrogen gas flows. The effects on the doping concentrations of the sputtering source distance to target is determined through Rutherford Backscattering Spectrometry and Variable Angle Spectroscopic Ellipsometry. Preliminary luminescence measurements are discussed. [1] Jalai, B., and Fothpour, S. “Silicon photonics,” Journal of Lightwave Technology 24, 4600-4615(2006) [2]Liu, A. Jones, R., Liao, L., Samarah-Rubio, Rubin, D., Cohen, O. Nicolaescu, R., and Paniccia, M., “A high-speed silicon optical modulator based on a metaloxide-semiconductor capacitor,” Nature 427, 615-618 (2004) [3] Ponce, F.A., Bour, D.P., “Nitride-based semiconductors for blue and green light-emitting devices”, Nature 386 (6623), 351-359 (1997)
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».