Fabrication of iron disilicide from multilayer by helicon plasma sputtering
Notice bibliographique
Résumé
Helicon plasma sputtering of Fe/Si multilayer followed by thermal annealing in Ar atmosphere was used to fabricate β-FeSi_2 films. [Fe 0.5nm/Si 1.6nm]_ 120 multilayer was deposited on Si(100) substrate and then the samples were annealed at 900℃ for 2h or at 9001000℃ for 10s. Annealed samples were characterized by X-ray diffractometry(XRD), Rutherford backscattering spectroscopy, scanning electron microscopy and optical absorption measurement. (202)/(220) oriented β-FeSi_2 films are fabricated from the multilayer according to XRD patterns. It is found that there is a very small redistribution of Fe and Si components in the films during the thermal annealing, so that a good stoichiometry of FeSi_2 can be obtained. It is also revealed by scanning electron microscopy that multilayer technology can result in a smooth surface for β-FeSi_2 films. Optical absorption spectra demonstrate that the films have a direct band gap of 0.9eV at room temperature.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,003 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».