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Enregistrement W2461306664 · doi:10.1109/jmems.2016.2576924

Acid-Free Electrochemical Chromium Etch and Release of Nanoscale Gold Films

2016· article· en· W2461306664 sur OpenAlex

Pourquoi ce travail est dans la base

Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.

affAu moins un auteur déclare une institution canadienne dans l'instantané OpenAlex épinglé.
fundUn bailleur canadien est enregistré sur le travail.

Notice bibliographique

RevueJournal of Microelectromechanical Systems · 2016
Typearticle
Langueen
DomaineChemical Engineering
ThématiqueAnalytical Chemistry and Sensors
Établissements canadiensUniversity of British Columbia
Organismes subventionnairesNatural Sciences and Engineering Research Council of CanadaCanada Research ChairsCanada Foundation for Innovation
Mots-clésChromiumEtching (microfabrication)Materials scienceSodium hydroxideLayer (electronics)Substrate (aquarium)ElectrodeElectrochemistryInorganic chemistryHydroxideChemical engineeringTitaniumCoatingMetallurgyNanotechnologyChemistry

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

We describe a method for releasing coated and uncoated 100-nm gold films from a 5-nm chromium-coated glass substrate. The method is rapid at room temperature within a nontoxic solution of sodium phosphate or sodium hydroxide. Etching processes using hydroxide successfully etch the chromium layer without affecting a ZnO coating layer deposited on the gold film. Etching using sodium phosphate at neutral pH causes some surface damage to the ZnO surface while leaving the bulk of the film intact. Other anions tested include nitrates and chlorides, both demonstrating poor etching selectivity, damaging the gold as well as the chromium layers. A copper counter electrode is used to collect the chromium from the solution, minimizing chromium persistence in the etching solution and any contamination of the ZnO surface. This single step acid-free process can be applied to a variety of materials and structures formed on gold, where insulating materials and many oxides do not require any special protection from the etching solution. An uncoated or polyimide coated 2 cm × 1.5 cm film can be released in under 1 h, while ZnO-coated films require up to 7 h to to release films 1 cm × 1 cm in size.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,001
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,023
Score d'incertitude au seuil0,703

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,001
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0010,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0010,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,006
Tête enseignante GPT0,199
Écart entre enseignants0,193 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle