DEPOSITION AND CHARACTERIZATION OF MAGNETRON CO-SPUTTERED InAlN FILM AT DIFFERENT Ar:N<sub>2</sub> GAS FLOW RATIOS
Notice bibliographique
Résumé
This work presents the influence of changing Ar:N2 gas ratio on the growth and properties of InAlN films. InAlN films were deposited on [Formula: see text]-type Si(111) substrates by using magnetron co-sputtering method in 6:12, 10:10, 12:8 and 12:6 Ar:N2 mixtures at 300[Formula: see text]C. The surface, structural, electrical and optical properties of the deposited films were evaluated at different Ar:N2 ratios. The grain size and film thickness were increased by increasing the Ar flow with respect to N2. Structural characterization by X-ray diffraction (XRD) revealed an improvement in the crystalline quality of the [Formula: see text]-axis-oriented InAlN film by adjusting the Ar:N2 ratio to 12:8, however no diffraction peak corresponding to InAlN was detected at 6:12 Ar:N2 mixture. The surface roughness of InAlN film exhibited an increasing trend whereas the electrical resistivity of the film was decreased by increasing the Ar:N2 ratio. The bandgap of InAlN film was calculated from the optical reflectance spectra and it was found to change by changing the Ar:N2 gas ratio. The analysis of results from this work shows that the InAlN film with improved physical properties can be obtained through reactive magnetron co-sputtering method by adjusting the Ar:N2mixture to 12:8.
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».