DEPOSITION AND CHARACTERIZATION OF MAGNETRON CO-SPUTTERED InAlN FILM AT DIFFERENT Ar:N<sub>2</sub> GAS FLOW RATIOS
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
This work presents the influence of changing Ar:N 2 gas ratio on the growth and properties of InAlN films. InAlN films were deposited on [Formula: see text]-type Si(111) substrates by using magnetron co-sputtering method in 6:12, 10:10, 12:8 and 12:6 Ar:N 2 mixtures at 300[Formula: see text]C. The surface, structural, electrical and optical properties of the deposited films were evaluated at different Ar:N 2 ratios. The grain size and film thickness were increased by increasing the Ar flow with respect to N 2 . Structural characterization by X-ray diffraction (XRD) revealed an improvement in the crystalline quality of the [Formula: see text]-axis-oriented InAlN film by adjusting the Ar:N 2 ratio to 12:8, however no diffraction peak corresponding to InAlN was detected at 6:12 Ar:N 2 mixture. The surface roughness of InAlN film exhibited an increasing trend whereas the electrical resistivity of the film was decreased by increasing the Ar:N 2 ratio. The bandgap of InAlN film was calculated from the optical reflectance spectra and it was found to change by changing the Ar:N 2 gas ratio. The analysis of results from this work shows that the InAlN film with improved physical properties can be obtained through reactive magnetron co-sputtering method by adjusting the Ar:N 2 mixture to 12:8.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
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score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle