Thermal Decomposition of Copper Iminopyrrolidinate Atomic Layer Deposition (ALD) Precursors on Silicon Oxide Surfaces
Notice bibliographique
Résumé
The thermal chemistry of Cu(I)- N - sec -butyl-iminopyrrolidinate on silicon oxide films was characterized by using temperature-programmed desorption (TPD) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). Three temperature regimes were identified after adsorption at 100 K: (1) molecular desorption at 240 K; (2) protonation of some of the ligands and formation of the corresponding iminopyrrolidine at 300 K; and (3) fragmentation of the remaining ligands to produce H 2, HCN, and butene, which occurs concurrently with the reduction of the copper ions. Most of the carbon and nitrogen atoms are removed from the surface after the third step, and copper desorbs above 900 K. Adsorption of the copper complex at room temperature leads to a partial early reduction of the metal and to the extended production of sec -butyl-iminopyrrolidine in two broad peaks around 330 and 460 K. Self-limiting adsorption, as required for atomic layer deposition (ALD) processes, is seen up to 500 K, but by 550 K continuous copper deposition takes place. In general, the chemistry of this copper ALD precursor is milder and cleaner on silicon oxide than on metals.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».