Notice bibliographique
Résumé
As k 1 factors [Eq. (2.8)] fall below 0.8, a number of effects become observable that are not seen when k 1 is larger. Processes with small values of k 1 began to appear in the mid-1990s, and are quite common today, as seen from Table 8.1. Some of the effects seen in patterns generated with low-k 1 processes are discussed in this chapter. Several techniques also described—such as off-axis illumination and phase-shifting masks—have been developed to address the shortcomings of optical imaging as feature sizes become smaller than the wavelength of light. Methods to improve image contrast that involve modification of the mask or illumination are referred to collectively as resolution enhancement techniques (RETs) and are discussed in this chapter. 8.1 Off-axis illumination As discussed earlier, light (coherent) that illuminates a grating is diffracted in very specific directions [Eq. (2.1)]. For normally incident light, sufficiently small dimensions result in situations where all beams except the zero-order are diffracted outside the entrance pupil of the imaging optics (Fig. 8.1). In this case, no pattern is formed, because a single beam is a plane wave, containing no spatial information, as explained in Chapter 2. For normally incident (“on-axis”) illumination, the grating is not imaged when the pitch is too small, because only a single beam, the zero-order beam, is transmitted through the lens. This illustrates the limitation to resolution imposed by diffraction.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,007 | 0,021 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,002 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,002 | 0,005 |
| Communication savante | 0,004 | 0,008 |
| Science ouverte | 0,002 | 0,006 |
| Intégrité de la recherche | 0,004 | 0,007 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,012 | 0,005 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».