In-Situ Rare Earth Doping of Silicon-Based Nanostructures By Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition
Notice bibliographique
Résumé
In order for Si-based materials to be used in solid-state lighting (SSL) schemes it is necessary to have precise control of the optical emission from these materials. This can be accomplished through the use of rare earth dopants such as Ce, Tb, and Eu to obtain blue, green, and red emissions, respectively. After a brief review of the latest developments in the field, this talk will focus on several in-situ doping approaches to achieving very high, optically active concentrations of the rare earths. The methodologies include electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapour deposition (ECR-PECVD), inductively coupled plasma (ICP) CVD as low thermal budget processes for film deposition, reactive sputtering, as well as the use of a recently installed Circular High Vacuum Magnetron Sputtering source attached to the ECR-PECVD tool. We will describe the salient features of the deposition systems and correlate important process parameters with the observed luminescence. Finally, we will discuss some of the challenges in developing electrically driven lighting cells suitable for SSL and in particular, for the development of widely tuneable Si-based light sources. This work has been supported by the Natural Sciences and Engineering Research Council (NSERC) under its Discovery Grants Program.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».