Analysis, Simulation and Testing of a Micromirror with Rotational Serpentine Springs
Notice bibliographique
Résumé
In this paper, a 2-DOF model for electrostatically actuated torsional micromirrors with relatively soft stiff rotational serpentine springs is presented. The analytical stiffness formulae for this rotational serpentine spring are also presented. FEA simulations for static performance have been verified by the experimental values. Such validation was implemented through fabrication of the micromirror on a SOI wafer by MicraGEM micromachining process, PSD sensor based test set-up for static properties, and the corresponding tests. Due to the soft stiffness of rotational serpentine springs designed, the fabricated torsional micromirror could be rotated to some angle under low applied bias. The simulated pull-in voltage 17.2 V is close to the actual value but much smaller than those of previously reported large size torsional micromirrors. The deviation of the simulated static displacements from experimental results could be mainly due to the tolerance of fabrication, the slender beam and linear structural assumptions. However, with relatively lower applied voltages of actuation, these torsional micromirrors that use the rotational serpentine springs can be integrated on the same microchip with CMOS circuits, showing their promising potential for industrial applications.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».