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Enregistrement W2553232648 · doi:10.1116/1.4967786

Effects of aging on nanoscale planar metal-insulator-metal tunnel junctions

2016· article· en· W2553232648 sur OpenAlexafffund
Gabriel Droulers, Serge Ecoffey, Michel Pioro-Ladrière, Dominique Drouin

Notice bibliographique

RevueJournal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena · 2016
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueSemiconductor materials and devices
Établissements canadiensCanadian Institute for Advanced ResearchInstitut interdisciplinaire d'innovation technologiqueUniversité de Sherbrooke
Organismes subventionnairesFonds de recherche du Québec – Nature et technologiesNatural Sciences and Engineering Research Council of Canada
Mots-clésMaterials scienceFabricationQuantum tunnellingPlanarMetal-insulator-metalInsulator (electricity)ScalingOxideOptoelectronicsElectrodeVoltageAtomic layer depositionNanotechnologyThin filmElectrical engineeringCapacitorComputer scienceMetallurgy

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

The authors use the nanodamascene fabrication process to realize planar metal-insulator-metal tunnel junctions with Ti and TiN as electrodes and TiO2 (plasma oxidation) or Al2O3 (atomic layer deposition) as insulators. The nanodamascene process allows the fabrication of junction areas as small as 20 × 10 nm2 in the current implementation, with room for further scaling. The authors use thorough electrical transport measurements together with a corresponding in-house developed simulation tool to study the aging and find solutions to stabilize junctions. The simulation tool calculates junction current using the Wentzel–Kramers–Brillouin approximation for the tunneling probability with hyperbolic junction shape taking image force into account. The tool is used for two purposes: (1) to extract key parameters of the junctions and (2) to construct a more complete understanding of the changes in current–voltage characteristics as the devices age. The study of a device aged 100 days shows an increase of up to 0.6 nm in oxide thickness through air exposition which reduces the current level by almost an order of magnitude. A similar study on passivated devices with different oxides shows improvements in stability with less than 2% change over 48 days. The presented platform combining versatile fabrication with corresponding modeling is useful to better understand the impact of the different parameters on the junction behavior and develop more robust oxide tunnel junctions.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Comment cette classification a été obtenuedéplier

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,001
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,013
Score d'incertitude au seuil0,736

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0010,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0010,000
Bibliométrie0,0010,001
Études des sciences et des technologies0,0000,001
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,008
Tête enseignante GPT0,202
Écart entre enseignants0,193 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

Classification

machine, non validée

Prédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.

Les modèles n’ont appliqué aucune catégorie : rien dans la taxonomie ne correspondait à ce travail.
Devis d'étudeExpérimental (laboratoire)
Domainenon disponible
GenreEmpirique

Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».

En bref

Citations2
Publié2016
Routes d'admission2
Résumé présentoui

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