Effects of aging on nanoscale planar metal-insulator-metal tunnel junctions
Notice bibliographique
Résumé
The authors use the nanodamascene fabrication process to realize planar metal-insulator-metal tunnel junctions with Ti and TiN as electrodes and TiO2 (plasma oxidation) or Al2O3 (atomic layer deposition) as insulators. The nanodamascene process allows the fabrication of junction areas as small as 20 × 10 nm2 in the current implementation, with room for further scaling. The authors use thorough electrical transport measurements together with a corresponding in-house developed simulation tool to study the aging and find solutions to stabilize junctions. The simulation tool calculates junction current using the Wentzel–Kramers–Brillouin approximation for the tunneling probability with hyperbolic junction shape taking image force into account. The tool is used for two purposes: (1) to extract key parameters of the junctions and (2) to construct a more complete understanding of the changes in current–voltage characteristics as the devices age. The study of a device aged 100 days shows an increase of up to 0.6 nm in oxide thickness through air exposition which reduces the current level by almost an order of magnitude. A similar study on passivated devices with different oxides shows improvements in stability with less than 2% change over 48 days. The presented platform combining versatile fabrication with corresponding modeling is useful to better understand the impact of the different parameters on the junction behavior and develop more robust oxide tunnel junctions.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».