Nitroxide‐mediated polymerization of adamantyl‐functional methacrylates for 193 nm photoresists
Notice bibliographique
Résumé
Three different methacrylic monomers (γ‐butyrolactone methacrylate (GBLMA), 3‐hydroxyl‐1‐adamantyl methacrylate (HAMA), and 2‐methyl‐2‐adamantyl methacrylate (MAMA)), that are most often terpolymerized for 193 nm photoresists, were studied individually by nitroxide mediated polymerization (NMP) with succinimidyl ester terminated BlocBuilder (NHS‐BlocBuilder) using a small fraction ∼ 0.05 mol/mol (5 mol%) in the initial mixture of 2,3,4,5,6 pentafluorostyrene (PFS) controlling co‐monomer. The copolymerizations were done in 0.35 g/g (35 wt%) dioxane solution and were studied as functions of temperature (75 versus 90 °C) and added free SG1 nitroxide (none versus SG1:NHS‐BlocBuilder molar ratio ≈ 0.15) with the objective of minimizing the dispersity ( ). MAMA/PFS copolymerizations were not strongly influenced by temperature or addition of free nitroxide, with relatively linear number average molecular weight versus conversion plots and = 1.28–1.55. Further, MAMA/PFS polymerization kinetics was notably slower compared to GBLMA or HAMA copolymerizations with PFS. For GBLMA/PFS and HAMA/PFS copolymerizations, was reduced at the lower temperature of 75 °C but added SG1 did not play a strong role. For GBLMA/PFS, was reduced from 1.70–1.71 at 90 °C to 1.42–1.50 at 75 °C and for HAMA/PFS, was reduced from 1.36–1.47 at 90 °C to 1.22–1.31 at 75 °C.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».