Realtime X-ray reflectometry to see changes at buried interfaces
Notice bibliographique
Résumé
X-ray reflectometry is powerful in determining internal structure of multilayered thin films, such as thickness and density of each layer, as well as the roughness of surface and interfaces [1]. The measurement requires some precise angular scans near the critical angle with monochromatic parallel X-rays, and therefore it has not been thought that the technique is basically suitable to see changes. However, even without any angular scans, it is possible to obtain essentially the same data by using wide angular dispersion of the incident X-ray beam. The principle is basically known as Naudon's pioneering concept [2]. The system has been improved further by employing a monochroator, which was not used by Naudon's work. A multilayer monochromator was placed at very narrow limited space between a rotating anode X-ray source and the sample stage [3]. Use of a fast Si strip detector also contributed to improve the time-resolution. One can obtain an X-ray reflectivity curve with 4.5 decades even in 1 sec. It is possible to measure the curve down to 10-6, if 20 sec accumulation is allowed. Another advantage of the present instrument is fairly wide angular divergence, which ensures simultaneous data collection for 2 deg range. One of our recent successful applications of this method is the measurement of thermal expansion factor of the polymer thin film. It was also possible to see melting and freezing surfaces. In the presentation, such practical application will be demonstrated, in addition to the detailed description of our instruments.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,001 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».