GaN Nanowire Schottky Barrier Diodes
Notice bibliographique
Résumé
A new concept of vertical gallium nitride (GaN) Schottky barrier diode based on nanowire (NW) structures and the principle of dielectric REduced SURface Field (RESURF) is proposed in this paper. High-threading dislocation density in GaN epitaxy grown on foreign substrates has hindered the development and commercialization of vertical GaN power devices. The proposed NW structure, previously explored for LEDs offers an opportunity to reduce defect density and fabricate low cost vertical GaN power devices on silicon (Si) substrates. In this paper, we investigate the static characteristics of high-voltage GaN NW Schottky diodes using 3-D TCAD device simulation. The NW architecture theoretically achieves blocking voltages upward of 700 V with very low specific on-resistance. Two different methods of device fabrication are discussed. Preliminary experimental results are reported on device samples fabricated using one of the proposed methods. The fabricated Schottky diodes exhibit a breakdown voltage of around 100 V and no signs of current collapse. Although more work is needed to further explore the nano-GaN concept, the preliminary results indicate that superior tradeoff between the breakdown voltage and specific on-resistance can be achieved, all on a vertical architecture and a foreign substrate. The proposed NW approach has the potential to deliver low cost reliable GaN power devices, circumventing the limitations of today's high electron mobility transistors (HEMTs) technology and vertical GaN on GaN devices.
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Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,001 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,002 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
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score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».