A Fabrication Process for Nanopatterns Shrinkage with Variable Sizesfor Large Area
Notice bibliographique
Résumé
In this paper, a cost efficient process chain is designed to shrink periodic nanopatterns to tunable feature sizes.The feature size of the final patterns can be controlled and adjusted.100 mm full wafers featuring square holes with 130 nm, 160 nm, 190 nm and 220 nm feature sizes are fabricated from the original wafer containing circular holes with a diameter of 350 nm.The fabrication chain involves well-known technologies such as etching and soft UV nanoimprint lithography (UV-NIL).Based on a single original master, an intermediate template is fabricated featuring an inversed pyramid pattern using soft UV-NIL and subsequent wet chemical etch.By utilizing the slope of the inversed pyramid structures, the mask on the final substrate can be opened featuring tunable dimensions.Cryogenic etching based on SF6/O2 chemistry enables the creation of the final shrunk nanopatterns with smooth and vertical profile.The fabrication cycles involve only short imprinting and etch processes coping without costly electron beam writings.Therefore, the original micro-and nanostructure wafer can be shrunk into nanopatterns with tunable feature sizes at a constant pitch in a cost effective manner.The generated periodic nanopatterns can be adopted to the fields of NIL templates, photonic crystals, optics, energy conversion and storage, etc.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».