Growth and Characterization of Metastable Hexagonal Nickel Thin Films via Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
Notice bibliographique
Résumé
There is a great interest in various branches of the advanced materials industry for the development of novel methods (and improvements to existing ones) for the deposition of conformal ultrathin metallic films. In most of these applications, like enhanced solar absorbers and microelectronics, achieving the capacity to deposit a conformal thin film on a three-dimensional structure is an important condition. Plasma-enhanced atomic layer deposition (ALD) is known for its potential for growth of conformal thin films with a precise control over the thickness and its capability for deposition at relatively low temperatures (below 500 °C). This study evaluates the potential of plasma-enhanced ALD for growth of conformal nickel thin films, using bis(ethylcyclopentadienyl)nickel and nitrogen/hydrogen plasma as precursors. A comprehensive analysis of the structure, composition, and physical properties of the films was performed. The results indicate that conformal nickel films with low levels of impurity were successfully deposited on sapphire. The films had a roughness of R a = 1.5 nm and were seen to be under strain. The deposited nickel had a hexagonal crystal structure, with a random in-plane orientation of the grains, while the grains had their c -axes oriented along the normal to the interface. These results pave the way for conformal low-temperature deposition of high-quality nickel thin films on three-dimensional structures.
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Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».