Strain-driven diffusion process during silicon oxidation investigated by coupling density functional theory and activation relaxation technique
Notice bibliographique
Résumé
The reaction of oxygen molecules on an oxidized silicon model-substrate is investigated using an efficient potential energy hypersurface exploration that provides a rich picture of the associated energy landscape, energy barriers, and insertion mechanisms. Oxygen molecules are brought in, one by one, onto an oxidized silicon substrate, and accurate pathways for sublayer oxidation are identified through the coupling of density functional theory to the activation relaxation technique nouveau, an open-ended unbiased reaction pathway searching method, allowing full exploration of potential energy surface. We show that strain energy increases with O coverage, driving the kinetics of diffusion at the Si/SiO2 interface in the interfacial layer and deeper into the bulk: at low coverage, interface reconstruction dominates while at high coverage, oxygen diffusion at the interface or even deeper into the bottom layers is favored. A changing trend in energetics is observed that favors atomic diffusions to occur at high coverage while they appear to be unlikely at low coverage. Upon increasing coverage, strain is accumulated at the interface, allowing the oxygen atom to diffuse as the strain becomes large enough. The observed atomic diffusion at the interface releases the accumulated strain, which is consistent with a layer-by-layer oxidation growth.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».