Batch fabrication of AFM probes with direct positioning capability
Notice bibliographique
Résumé
One major problem for most commercial atomic force microscope (AFM) probes is the uncertainty of the tip location relative to its cantilever. In most scenarios, AFM probes have tips 5–25 μm away from the very end of the cantilever, and it is thus impossible to know where exactly the tip is because the camera in an AFM system shows only the backside of the AFM cantilever. This uncertainty of the tip location has raised some major problems, e.g., the initial scanning area must be set very large to ensure that the area of interest is within the scanning field. Here, the authors will show a straightforward fabrication method that can convert a wafer of regular pyramidal-shaped probes into direct positioning probes, for which the tip is located either at the very end of its cantilever or next to a through-cantilever hole that is visible when viewed from the backside of the cantilever. Our method involves angle evaporation of a hard mask layer onto the AFM probe, followed by dry etching of silicon that etches the area not covered by the metal layer, i.e., the shadow area of the pyramid-shaped tip. As an additional benefit, because our process etched away half of the tip pyramid, the resulting tip is sharper with a smaller half cone angle than the original one, leading to higher resolution imaging.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,001 | 0,002 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».