Effect of dual-dielectric hydrogen-diffusion barrier layers on the performance of low-temperature processed transparent InGaZnO thin-film transistors
Notice bibliographique
Résumé
Dual-dielectric SiOx/SiNx thin-film layers were used as back-channel and gate-dielectric barrier layers for bottom-gate InGaZnO (IGZO) thin-film transistors (TFTs). The concentration profiles of hydrogen, indium, gallium, and zinc oxide were analyzed using secondary-ion mass spectroscopy characterization. By implementing an effective H-diffusion barrier, the hydrogen concentration and the creation of H-induced oxygen deficiency (H-Vo complex) defects during the processing of passivated flexible IGZO TFTs were minimized. A bilayer back-channel passivation layer, consisting of electron-beam deposited SiOx on plasma-enhanced chemical vapor-deposition (PECVD) SiNx films, effectively protected the TFT active region from plasma damage and minimized changes in the chemical composition of the semiconductor layer. A dual-dielectric PECVD SiOx/PECVD SiNx gate-dielectric, using SiOx as a barrier layer, also effectively prevented out-diffusion of hydrogen atoms from the PECVD SiNx-gate dielectric to the IGZO channel layer during the device fabrication.
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Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
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score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».