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Enregistrement W2791036357 · doi:10.1088/1361-6439/aaa878

Study on the mechanism of Si–glass–Si two step anodic bonding process

2018· article· en· W2791036357 sur OpenAlex

Pourquoi ce travail est dans la base

Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.

fundUn bailleur canadien est enregistré sur le travail.
no affAucune affiliation canadienne : ce travail est invisible pour une base fondée sur la seule affiliation.
Aucune affiliation canadienne. Une base fondée sur la seule affiliation (le devis habituel) n'aurait jamais vu ce travail. C'est l'un des travaux qui justifient l'inversion de la base.

Notice bibliographique

RevueJournal of Micromechanics and Microengineering · 2018
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
Thématique3D IC and TSV technologies
Établissements canadiensnon disponible
Organismes subventionnairesUniversity of WaterlooNational Natural Science Foundation of China
Mots-clésAnodic bondingAnodeMechanism (biology)Materials scienceProcess (computing)SiliconOptoelectronicsChemistryComputer sciencePhysical chemistryPhysicsElectrode

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

Abstract Si–glass–Si was successfully bonded together through a two-step anodic bonding process. The bonding current in each step of the two-step bonding process was investigated, and found to be quite different. The first bonding current decreased quickly to a relatively small value, but for the second bonding step, there were two current peaks; the current first decreased, then increased, and then decreased again. The second current peak occurred earlier with higher temperature and voltage. The two-step anodic bonding process was investigated in terms of bonding current. SEM and EDS tests were conducted to investigate the interfacial structure of the Si–glass–Si samples. The two bonding interfaces were almost the same, but after an etching process, transitional layers could be found in the bonding interface and a deeper trench with a thickness of ~1.5 µ m could be found in the second bonding interface. Atomic force microscopy mapping results indicated that sodium precipitated from the back of the glass, which makes the roughness of the surface become coarse. Tensile tests indicated that the fracture occurred at the glass substrate and that the bonding strength increased with the increment of bonding temperature and voltage with the maximum strength of 6.4 MPa.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,023
Score d'incertitude au seuil0,665

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,012
Tête enseignante GPT0,227
Écart entre enseignants0,214 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle