Design and fabrication of capacitive micromachined optical focusing deformable MEMS mirrors for ultrafast tunable focusing (Conference Presentation)
Notice bibliographique
Résumé
We introduce Capacitive Micromachined Optical Focusing (CMOF) MEMS consisting of a miniature circular mirrored-membrane which can be electrostatically actuated to change mirror curvature. The central deflection zone is a close approximation to a parabolic mirror. The device is fabricated with minimal membrane mass to be only slightly larger than a diffraction-limited focus of a Gaussian beam. This device is a good candidate for fast tuning of the radius of curvature of laser beams at greater than MHz tuning rates, a feat difficult to achieve with current technologies. We present the design, modeling, and fabrication of a high-speed focusing CMOF MEMS platform. We have developed an equivalent circuit model for CMOFs which is capable of full nonlinear analyze of the CMOFs, and it is validated by ANSYS finite element method (FEM) simulations. By using the equivalent circuit model the non-linear transient response of a CMOF can be rapidly obtained and controlled with nonlinear control systems. The first generation of the proposed device is fabricated with a sacrificial-release process. Fabricated CMOFs have a silicon nitride membrane with 32um radius and 300nm gap spacing between top and bottom electrode. These CMOFs can effectively change their focal length from infinity to 3mm. We tested the device in an optical lens-assembly, and recorded 1mm focal point change by only 100nm deflection on the CMOF surface as measured using a Shack-Hartman wavefront sensor.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».