Work function tuning of reactively sputtered MoxSiyNz metal gate electrodes for advanced CMOS technology
Notice bibliographique
Résumé
Due to continued transistor scaling, work function tuning of metal gates has become important for advanced CMOS applications. Specifically, this research has been undertaken to discover the tuning of the MoxSiyNz gate work function through the incorporation of nitrogen. Metal Oxide Semiconductor (MOS) capacitors were fabricated using thermal SiO2 as gate oxide on lightly doped p-type Si wafer. A molybdenum silicide (MoSi2) target was reactively sputtered at 10mTorr in presence of N2 and Ar. The gas flow ratio, RN = N2/ (N2+Ar), was adjusted to vary the nitrogen concentration in MoSiN films. The gate work function (Фm) was extracted from capacitance-voltage (CV) measurements using the VFB-tox method. Interfacial barrier heights were measured using internal photoemission (IPE) as an independent confirmation of the MoSiN gate work function. The work function was found to decrease linearly (from ~4.7eV to ~4.4eV) for increasing gas flow ratios (from 10% to 40%). Secondary ion mass spectrometry (SIMS) depth profiles suggested that the nitrogen concentration was relatively uniform throughout the film. X-Ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) surface analysis showed a steady increase in the total nitrogen concentration (from ~20% to 32%) in these films as gas flow ratio was increased. These data suggests that the increase in nitrogen concentration in MoSiN films corresponds directly with the lowering of MoSiN work function. These results clearly demonstrate that the work function of MoxSiyNz can be varied ~0.3 eV by adjusting the nitrogen concentration.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».