Post-Fabrication Melting Procedure With I-Shaped Beams for Stiction-Free Release of 2-D Surface-Micromachined Micromirrors Equipped With Repulsive-Force Actuators
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
This paper presents a post-fabrication melting procedure with an I-shaped beam design to solve the problem of stiction in surface-micromachined 2-D micromirrors equipped with repulsive-force actuators. This design adds extra I-shaped beams to the free-standing mirror plate to increase its stiffness about one thousandfold and allow it to survive the wet release process. Then, those beams are melted and broken electrically on-chip after fabrication to restore the original stiffness. With the aid of repulsive force, the I-shaped beam design can use a low current for melting. A high current was used in the previously presented T-shaped fusible tether beam design, but it causes splattering and residue. The I-shaped beam design has been successfully applied to a repulsive-force 2D micromirror that is integrated with head-up display and stiction is eliminated. The modeling, simulation, and prototyping processes are presented, and the ways in which it can be used in a general surface-micromachined free-standing structure to eliminate stiction are discussed.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle