ZnO Schottky Nanodiodes Processed From Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition at Near Room Temperature
Notice bibliographique
Résumé
In this paper, we report a low thermal budget manufacturing method to produce highly rectifying Schottky diodes with ultrathin ZnO films grown at near room temperature by plasma-enhanced atomic layer deposition. A bottom Schottky electrode with Pt and a top ohmic electrode with Al/Au stacks were used for metallization. The resultant diodes demonstrated high rectifying ratios on the order of 106, relatively low ideal factor n values of 1.36 ±0.05, effective Schottky barrier height B values of 0.77 ± 0.01 eV, and high breakdown fields of 1.67 MV/cm extrapolated from the current-voltage (I-V) characteristics at room temperature. These specifications are among the best-reported performance of Schottky diodes with ZnO thin films in nanoscale thickness. The interface at the Schottky contacts was investigated and revealed a lateral nonuniform distribution of interface defect states. A modified Richardson plot was used to deduce a mean barrier height (Φ <sub xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink">B0</sub> ) of 1.25 ± 0.1 eV and an apparent Richardson constantc (A**) of 11.64 A/cm <sup xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink">2</sup> /K <sup xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink">2</sup> . In addition, I-V characteristics of the diodes were observed to improve with aging. This newly developed, low thermal budget technique of ZnO Schottky nanodiodes is attractive for hybrid circuit systems and polymer electronics with integration constraints.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,001 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».