Macroporous silicon formation by electrochemical anodization of n-type silicon without illumination
Notice bibliographique
Résumé
This work reports the electrochemical anodization of low-doped n-type silicon in aqueous hydrofluoride (HF) solution without the use of external illumination to generate macroporous silicon with a thin mesoporous transition layer. We have shown that pore formation during the electrochemical anodization of low-doped n-Si in the dark is due to the avalanche breakdown mechanism. Studies of dissolution valence revealed a competition between divalent direct and tetravalent indirect dissolution processes. The effect of pore morphology on anodization parameters such as applied potential, HF concentration, and anodization time was systematically investigated. The fabricated porous silicon has well-separated and straight macropores of pore diameters ranging from 89 ± 9 to 285 ± 28 nm and with limited branching or interconnectivity. Pore diameter uniformity is maintained throughout the porous layer. XRD and Raman spectroscopy have shown that the porous Si fabricated here is highly crystalline, retaining its original crystallinity. The fabricated porous Si presented in this work with tunable pore sizes, depths, and surface features can have potential applications in various fields of microelectronics, photonics, and sensors.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».