Reactively Magnetron Sputter-Deposited Ti (C,N) Nanocomposite Thin Films: Composition and Thermal Stability
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
Titanium carbonitride thin films were grown by reactive magnetron sputtering deposition of titanium carbide target in Ar/N2 gas mixture on p-type silicon (100) substrates. With the increase of sputtering power up to 125W, the deposition rate and films thickness reached a maximum of 14nm/min and 430nm, respectively. A thick film of about 2200nm could be deposited for 120 min at the optimum deposition pressure of 20mTorr. Cathode current decreased from about 290mA to reach a value of about 235mA as the N2 flow percentage increased from 0 to 100%. X-ray diffraction analyses of the deposited films confirmed the formation of titanium carbide and carbonitride layers as the nitrogen gas concentrations in the process gas were increased. SEM image of the deposited titanium carbonitride thin film for 5 min deposition time showed that the film started to grow as tiny particles of size as low as about 140nm, which in later stage coalesced together to form bigger grains and finally a continuous film. The deposited film shows good thermal stability upon annealing in air and in vacuum at 700oC for 2 hours.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle