A New Temperature Transducer for Local Temperature Compensation for Piezoresistive 3-D Stress Sensors
Notice bibliographique
Résumé
In this paper, a new temperature transducer using full-circular n-type piezoresistor over (111) silicon plane is proposed as an accurate solution for local temperature compensation for piezoresistive three-dimensional (3-D) stress sensors. Analytical study, in this paper, showed that the proposed n-type full-circular piezoresisor over (111) has near-zero response under 3-D state of stress. As an experimental verification, a test device with n-type piezoresistive stress sensing elements oriented over (111) plane at 0° and 90° to crystallographic direction [1̅10] was microfabricated to test the capability of the proposed temperature compensator. The test device was subjected to a uniaxial load up to 50 MPa using a loading rig with four-point bending fixture. The testing was performed over a temperature range of 0-50 °C. The results showed that the proposed temperature transducer has a linear response to temperature excitation. The fabricated transducer is capable of accurately capturing the local temperature changes with maximum absolute error of ±0.8 °C. This compensation system is advantageous for piezoresistive stress/strain sensors, since the temperature transducer has the same thermal environment with the stress/strain-sensing rosette. Moreover, this technique does not require additional circuitry on the sensing device itself.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».