A New Temperature Transducer for Local Temperature Compensation for Piezoresistive 3-D Stress Sensors
Notice bibliographique
Résumé
In this paper, a new temperature transducer using full-circular n-type piezoresistor over (111) silicon plane is proposed as an accurate solution for local temperature compensation for piezoresistive three-dimensional (3-D) stress sensors. Analytical study, in this paper, showed that the proposed n-type full-circular piezoresisor over (111) has near-zero response under 3-D state of stress. As an experimental verification, a test device with n-type piezoresistive stress sensing elements oriented over (111) plane at 0° and 90° to crystallographic direction [1̅10] was microfabricated to test the capability of the proposed temperature compensator. The test device was subjected to a uniaxial load up to 50 MPa using a loading rig with four-point bending fixture. The testing was performed over a temperature range of 0-50 °C. The results showed that the proposed temperature transducer has a linear response to temperature excitation. The fabricated transducer is capable of accurately capturing the local temperature changes with maximum absolute error of ±0.8 °C. This compensation system is advantageous for piezoresistive stress/strain sensors, since the temperature transducer has the same thermal environment with the stress/strain-sensing rosette. Moreover, this technique does not require additional circuitry on the sensing device itself.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».