Temporary Bonding for High Temperature Processing of Thin Glass Using Plasma Activated DLC Layer
Notice bibliographique
Résumé
Commercial temporary bonding technologies utilize relatively thick polymeric materials whose use is limited to below 400oC, typically below 250oC. While adequate for many BEOL processes, the temperature limitation and outgassing from the bonding media are incompatible with higher temperature processes such as CVD growth, Au eutectic bonding and other processes for MEMS, photonics, or packaging applications. This talk describes a temporary van der Waals wafer bonding method using a thin continuous layer of PECVD deposited diamond like carbon (DLC) layer suitable for smooth glass, silicon and sapphire substrates. Rapid self-propagating bonding is achieved through plasma activation of the bonding surface. Raman and optical characterization of the DLC layer are consistent with a hydrogenated amorphous carbon structure. A 4 nm thick N2-O2 treated DLC layer is shown to bond thin glass to a display glass carrier with a bond energy <500mJ/m2 and minimal blistering at temperatures up to 600C. Bond energy of thin glass bonded with DLC was shown to be less than 400 mJ/m2 throughout a simulated LTPS TFT thermal cycle. The DLC bonding layer remains adherent throughout the vacuum, thermal and wet processing steps of typical semiconductor and MEMS fabrication; yet the bond energy between the pair remains low-enough after the thermal processing steps that renders the pair fully detachable.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,003 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».