Crystal quality of SiGe films fabricated by the condensation technique and characterized by medium energy ion scattering
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
Abstract Highly strained SiGe-on-insulator (SGOI) channels are desired for p-type transistor performance enhancement. A fine characterization of the crystal quality as a function of depth of such films would be of great interest as the SiGe crystal quality influences its electrical properties. The crystal quality of SGOI films fabricated by the condensation technique is measured by the Medium Energy Ion Scattering technique using the channeling effect. Indeed, the presence of structural defects such as dislocations is associated with atoms displaced from their normal lattice sites that contribute as a consequence to the scattering yield in channeling conditions. This paper compares the crystal quality of low Ge content and high Ge content SGOI films fabricated by condensation. It is shown that the SiGe crystal is degraded in the top part of the film, both before and after condensation, and that the presence of Ge, even at low fraction, at the interface with the buried oxide, induces crystal damage in the immediate vicinity of the interface. We finally highlight that, except close to the interfaces with oxide films, SGOI films fabricated by condensation feature high crystal qualities up to 57% Ge concentration and 2% compressive strain.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
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score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle