Ultra-high aspect ratio functional nanoporous silicon via nucleated catalysts
Notice bibliographique
Résumé
Nanoporous silicon (NPSi) has drawn recent interest because of its potential in a range of applications such as battery anodes, photocatalysis, thermoelectrics, and filtration membranes. However, the inexpensive and scalable manufacturing of high aspect ratio porous structures on the nanometer scale has been difficult due to the reliance of current methods on complex and expensive equipment used for techniques such as anodization or photolithography. Here, we report a method of producing NPSi with sub-10 nm pore sizes and aspect ratios as high as 400 : 1 by leveraging the nucleation of sputtered noble metals on the Si surface, followed by metal-assisted chemical etching (MACE). The technique is capable of producing NPSi in an intrinsically scalable manner. Samples are characterized with SEM and TEM, along with vertical and horizontal FIB cross-sectional milling to elucidate the porous structure at several μm of depth within the substrate. Following preparation of the NPSi, it is functionalized with Al 2 O 3 and TiO 2 via atomic layer deposition (ALD). TiO 2 -functionalized NPSi exhibits reflectivity of 6-8% for visible wavelengths, and 2-3% in the infrared-showing its promise as a robust and functional porous substrate. The developed approach of employing MACE with sputtered nucleated catalysts facilitates the scalable fabrication of functional ultra-high aspect-ratio nanopores in silicon.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,001 | 0,002 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,002 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».