Monolithically Integrated RF MEMS-Based Variable Attenuator for Millimeter-Wave Applications
Notice bibliographique
Résumé
This paper reports a millimeter-wave radio frequency (RF) microelectromechanical systems (MEMS)-based variable attenuator implemented by monolithically integrating CPW-based hybrid couplers with lateral MEMS varactors on a silicon-on-insulator (SOI) substrate. The MEMS varactor features a Chevron-type electrothermal actuator that controls the lateral movement of a thick plate allowing precise change of capacitive loading on a CPW line leading to a change in isolation between input and output. The proposed variable attenuator is successfully fabricated on an SOI substrate with a device footprint of 3.8 mm × 3.1 mm. The fabrication process provides flexibility to extend this module and implement more complex RF signal conditioning functions, thus making it more appealing to realize a wide range of reconfigurable RF devices. The measured RF performance shows that the device exhibits attenuation levels (S21) ranging from 10 to 25 dB, at the center frequency of 60 GHz with a bandwidth of 4 GHz and a return loss of better than 20 dB. The device involves laterally moving 20-μm-thick structures, hence offers reliable operation and eliminates MEMS problems like stiction, dielectric charging, and microwelding observed in surface micromachined thin membranes.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».