Large aperture surface-micromachined rotating micromirror with the majority of dimples removed
Notice bibliographique
Résumé
Abstract This paper presents a surface-micromachined repulsive-force driven 1D rotating micromirror with a large aperture (1 mm). Two rotating beams are located on the bottom side of the mirror plate, while two repulsive-force actuators are connected to two middle sides to push the mirror plate up for out-of-plane rotation. Thus, no complex self-assembly structure is required to raise the mirror plate for rotation as most conventional surface-micromachined rotating micromirrors do. In order to increase the yield rate for the large aperture micromirror and avoid dimples used for preventing stiction during fabrication, six post-fabrication melted supporting beams are used along the circumference to increase the stiffness in fabrication, which are electrically melted and broken after fabrication to restore the initial stiffness. Only 12 dimples in the center of mirror plate are used for preventing operational stiction. The mirror’s reflectivity is increased to 25% from 20% after removing the majority of dimples. 36 prototypes are fabricated and tested and none of them suffer from stiction problem. The 6.3° optical rotation is achieved with a settling time of 26 ms.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».