Novel method to improve stroke of electrostatically actuated MEMS micromirror
Notice bibliographique
Résumé
In this paper, an electrostatically actuated MEMS micromirror with enhanced stroke is presented. Unlike traditional MEMS micromirror, the proposed micromirror achieves a large out-of-plane stroke through employing a larger air gap for the micromirror surface to move as well as eliminating the pull-in instability. This novel micromirror has a central reflective micromirror surface of 400 μm by 400 μm, an L-shaped arm that holds the micromirror to the anchor on all side and 3 fixed bottom electrodes beneath each L-shaped arms. The lateral electrostatic forces on the upper L-shaped arm are equal in magnitude but opposite in direction and they counteract to neutralize out each other. The electrostatic force produced on the top L-shaped arm is larger than on the bottom. Therefore, the net electrostatic force points in the upward direction. As a result, the upper plate of the micromirror moves upwards. COMSOL Multiphysics is used to simulate and design the device in order to optimize the stroke of the micromirror for a lower input voltage. The mirror is fabricated using PolyMUMPs fabrication technique where an air cavity of 2.75 μm was achieved by combining the two available sacrificial layers. In this proposed design, an out-of-plane stroke of 2.43 μm is achieved at a 110 V DC bias voltage.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,001 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».